氦质谱检漏仪

喷氦法

喷氦法是，的检漏方法。检漏时，用连接在装有氦气的气瓶上的喷枪向怀疑有漏泄的部位喷氦气，如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置，则装置内的氦分压就会上升，便携式氦质谱检漏仪多少钱，氦检漏仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少，便携式氦质谱检漏仪维修，超过标准漏率值的可视为不合格。

喷氦法检漏中应该注意以下几个问题：

1、实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于喷枪所喷出的氦气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使氦气的浓度有所降低。二是喷枪喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。

2、检漏次序：从被检件物体的上方至下方，由*近检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。

3、检出的大漏孔要经修补后再去漏孔。

4、当存在两个相距很近的的漏孔点时，应先把一个点盖住，在对另一点用细的喷枪进行喷氦。

5、当喷枪喷在某一点时，如果，便携式氦质谱检漏仪，检漏仪上的显示有变化，其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。

6、检出漏孔后，还应再做几次复检。

7、检漏场地要有良好的通风条件，但也不能太大，不应影响喷枪喷出的氦气气流的方向。

氦质谱检漏仪故障与处理

定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

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氦质谱检漏仪的结构和工作原理

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，便携式氦质谱检漏仪价格，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

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